Tantalum Crucibles For E-Beam Sources high quality
1/
Танталовые тигли для источников электронного пучка
Танталовые тигли для источников электронного луча представляют собой прецизионные-контейнеры, используемые в системах электронно-лучевого испарения, где высокая термическая стабильность и сверхнизкое выделение газа необходимы для поддержания целостности вакуума и чистоты осадка.
Отправить запрос
Описание
Технические параметры
Роль танталовых тиглей в электронно-лучевом испарении
Танталовые тигли для источников электронного луча представляют собой прецизионные-контейнеры, используемые в системах электронно-лучевого испарения, где высокая термическая стабильность и сверхнизкое выделение газа необходимы для поддержания целостности вакуума и чистоты осадка.
При электронно-лучевом осаждении сфокусированный электронный луч испаряет исходный материал внутри тигля, а полученный пар конденсируется на подложках в виде тонких пленок. Тантал выбран потому, что его высокая температура плавления позволяет испарять тугоплавкие металлы (например, W, Mo, Ta) и оксиды без разрушения тигля. Его низкое давление пара при рабочих температурах (<10⁻⁸ Pa at 2500 °C) prevents crucible material from contaminating the deposited film. Additionally, tantalum's low outgassing rate (<10⁻⁹ Torr·L/s·cm²) helps sustain UHV conditions (<10⁻⁷ Pa) crucial for high‑performance optics and semiconductor coatings.
Свойство
Значение/диапазон
Важность работы источника электронного луча
Температура плавления
3017 градусов
Обеспечивает испарение тугоплавких-точечных материалов.
Давление пара при 2500 градусов
<10⁻⁸ Pa
Устраняет загрязнение тигля парами
Скорость дегазации (СВВ)
<10⁻⁹ Torr·L/s·cm²
Поддерживает качество вакуума для чистых осаждений
Теплопроводность
57 W/m·K
Обеспечивает равномерный нагрев и уменьшает количество горячих точек.
Особенности проектирования танталовых тиглей с электронным пучком
Тигли изготавливаются с тонкими стенками (1–3 мм), чтобы максимизировать передачу тепла от электронного луча при минимизации запасенной тепловой массы. Геометрия часто цилиндрическая с закругленными краями, чтобы избежать острых углов, где расплавленный материал может застаиваться или локально перегреваться. Чтобы противостоять повреждению электронами высокой-энергии, некоторые конструкции включают рубашки с водяным охлаждением или используют тигли с заданной ориентацией зерен для равномерного распределения электронного удара.
Варианты промышленного использования танталовых тиглей с электронным пучком
Оптическое покрытие – Испарение TiO₂, Al₂O₃ и SiO₂ для линз и лазерных зеркал, требующих высокого контроля показателя преломления.Микроэлектроника – Нанесение барьерных слоев (например, TaN) и металлов межсоединений, чистота которых напрямую влияет на надежность устройства.Технология отображения – Равномерное испарение оксида индия и олова (ITO) для прозрачных проводящих покрытий.Их совместимость с автоматизированными системами подачи и длительный срок эксплуатации делают их стандартными для высокопроизводительных камер для нанесения покрытий на архитектурное стекло, прецизионную оптику и современные электронные подложки.
Испарительный материал 99,95% танталовый тигель 3N5 для электронно-лучевого испарителя
Завод по обработке деталей тантала подгонял тигель разного размера ярко-серый тантал для плавления технологических деталей
Индивидуальный R05200 Ta 99,95% чистого полированного танталового тигля, карбид тантала за кг цена
