Танталовые мишениобычно имеют форму дисков или прямоугольных пластин, но также могут иметь различные формы и размеры в зависимости от конкретных требований применения. К его основным структурным характеристикам относятся:
Высокая чистота: обычно более 99,9%, иногда даже до 99,999%. Высокая чистота гарантирует отсутствие нежелательных примесей в процессе осаждения тонкой пленки.
Однородность: танталовые мишени должны иметь однородную микроструктуру, чтобы обеспечить равномерное распределение материала во время осаждения тонких пленок.
Высокая плотность: однородность плотности имеет решающее значение для обеспечения стабильности во время осаждения.