Каковы принципы выбора целевых материалов?

Целевые материалы – это целевые материалы, бомбардируемые высокоскоростными-энергетическими частицами. Они используются в лазерном оружии высокой-энергии. Когда лазеры с разной плотностью мощности, разными формами выходных сигналов и разными длинами волн взаимодействуют с разными целевыми материалами, будут возникать разные убивающие и разрушительные эффекты.

Принципы выбора целевых материалов

(1) Состав целевого материала. Пленка должна иметь хорошую механическую прочность и химическую стабильность;

(2) Пленочный материал, используемый для реактивного распыления, должен легко образовывать составную пленку с реакционным газом;

(3) Целевой материал и подложка должны быть прочно соединены. В противном случае следует использовать пленочный материал с хорошей прочностью сцепления с подложкой. Во-первых, перед подготовкой необходимого слоя пленки следует напылить базовую пленку;

(4) При условии соблюдения требований к характеристикам пленки, чем меньше разница в коэффициенте теплового расширения между целевым материалом и подложкой, тем лучше, чтобы уменьшить влияние термического напряжения на напыленную пленку;

(5) В соответствии с требованиями к использованию и характеристикам пленки используемый целевой материал должен соответствовать требованиям чистоты, содержания примесей, однородности компонентов, механических свойств и т. д. Технические требования, такие как точность обработки.