Женань, какие основные методы обычно используются для тестирования зерна целевого материала?

ЖеньАн, какие основные методы обычно используются для тестирования зерна целевого материала?

Целевые материалы обычно являются поликристаллическими с размером зерен от микронов до миллиметров. Чем мельче зерна, тем больше площадь границ зерен и тем больше влияние на производительность. Для одного и того же материала мишени мишени с мелкими зернами имеют более высокую скорость распыления, чем мишени с крупными зернами. Мишени с меньшими вариациями размера зерна (равномерное распределение) обеспечивают более равномерное распределение толщины в напыленных пленках. Исследования показали, что если размер зерна титановой мишени контролируется ниже 100 мкм, а изменение размера зерна поддерживается в пределах 20%, качество получаемой напыленной пленки может быть улучшено. Значительное улучшение.

Три основных метода определения целевого размера зерна
1. Метод сравнения. Метод сравнения не требует подсчета зерен или точек пересечения. При сравнении со стандартной серией рейтинговых таблиц оценка крупности зерна методом сравнения обычно имеет определенную степень отклонения (±0,5 уровня). Воспроизводимость и воспроизводимость оцениваемых значений обычно составляют ±1 уровень.

2. Метод площади. Метод площади подсчитывает количество зерен на известной площади и использует количество зерен на единицу площади для определения класса размера зерна. Точность этого метода зависит от рассчитанного размера зерна, и при правильном подсчете можно достичь точности ±0,25 уровня. Результаты метода площадей несмещены, с воспроизводимостью менее ±0,5 уровня. Ключом к определению размера зерна с использованием метода площади является подсчет зерен, которые четко разграничивают границы зерен.

3. Метод пересечений: количество пересечений рассчитывается путем подсчета количества пересечений, в которых сегмент контрольной линии (или сетка) известной длины пересекает границы зерен. Класс крупности зерна определяется по количеству точек пересечения на единицу длины. Точность метода перехвата зависит от количества перехватов или рассчитанных перехватов и может быть достигнута посредством эффективного статистического анализа. Точность уровня ±0,25. Результаты измерений методом перехвата не содержат ошибок-свободны, а воспроизводимость и воспроизводимость составляют менее ±0,5 уровня. Для того же уровня точности метод пересечения не требует точного обозначения точек пересечения или номеров пересечений, поэтому он быстрее, чем метод площади.